Tepelné hmotnostní průtokoměry pro stlačený vzduch jsou flexibilní přístroje, které mohou měřit průtok i mnoha dalších plynů. Jejich pracovní princip je založen na přenosu tepla. Zahřátý snímač ztrácí teplo s procházejícím plynem a tento chladicí efekt je úměrný hmotnostnímu průtoku. Sledováním změny teploty určuje měřič skutečný průtok plynu.

Protože každý plyn má vlastní tepelnou vodivost a molekulární vlastnosti, používají moderní přístroje k úpravě těchto faktorů softwarové algoritmy. Snímač kalibrovaný na vzduchu lze proto použitím správného nastavení plynu přizpůsobit dusíku, kyslíku, oxidu uhličitému nebo jiným stlačeným plynům.

Díky tomu jsou tepelné hmotnostní průtokoměry spolehlivou volbou pro širokou škálu plynových aplikací, kde je zapotřebí přesné měření hmotnostního průtoku.