Princip tepelného hmotnostního průtoku měří tepelné ztráty zahřátého čidla pohybujícího se plynu. V závislosti na hmotnosti a rychlosti procházejícího plynu je signál úměrný standardnímu průtoku. Tento princip je velmi spolehlivý v širokém rozsahu. Speciálně pro detekci malých průtoků vzduchu, způsobených například únikem. Díky malým rozměrům je možná snadná instalace pod tlakem bez přerušení výroby – další výhoda oproti jiným principům.