Das thermische Massenflussprinzip basiert auf der Messung des Wärmeverlustes eines beheizten Sensors, der von einem strömenden Gas umgeben ist. Abhängig von der Masse und der Strömungsgeschwindigkeit des Gases verändert sich die Wärmeabfuhr. Dieses Signal ist direkt proportional zur Normdurchflussrate.

Das Messprinzip arbeitet über einen sehr weiten Messbereich zuverlässig und eignet sich besonders für die Erkennung kleinster Luftströme, wie sie beispielsweise durch Leckagen entstehen.

Durch die kompakte Bauweise ist eine einfache Installation unter Druck möglich, ohne den laufenden Betrieb zu unterbrechen. Dies stellt einen entscheidenden Vorteil gegenüber anderen Messverfahren dar.