El principio de flujo másico térmico mide la pérdida de calor de un sensor calentado un gas en movimiento. En función de la masa y la velocidad del gas que pasa, la señal es proporcional al caudal estándar. Este principio es muy fiable en un amplio rango. Específicamente para la detección de pequeños caudales de aire, como los causados, por ejemplo, por fugas. Debido a su pequeño tamaño, se puede instalar fácilmente bajo presión sin interrumpir la producción, otra ventaja sobre otros principios.