A sűrített levegőhöz használt termikus tömegáram-mérők rugalmas műszerek, amelyek számos más gáz áramlását is képesek mérni. Működési elvük a hőátadáson alapul. A fűtött érzékelő hőt ad le az átáramló gáznak, és ez a hűtőhatás arányos a tömegáramlással. A hőmérsékletváltozás megfigyelésével a mérőműszer meghatározza a tényleges gázáramot.

Mivel minden gáznak saját hővezető képessége és molekuláris tulajdonságai vannak, a modern műszerek szoftveres algoritmusokat használnak e tényezők beállítására. Egy levegőre kalibrált érzékelő ezért a megfelelő gázbeállítások alkalmazásával nitrogénhez, oxigénhez, szén-dioxidhoz vagy más sűrített gázokhoz is igazítható.

Ez teszi a termikus tömegáram-mérőket megbízható választássá a gázalkalmazások széles skálájához, ahol pontos tömegáram-mérésre van szükség.