A termikus tömegáramlás elve egy fűtött érzékelő hőveszteségét méri egy mozgó gázon. Az áthaladó gáz tömegétől és sebességétől függően a jel arányos a szabványos áramlási sebességgel. Ez az elv széles tartományban nagyon megbízható. Kifejezetten a kis légáramlások kimutatására alkalmas, mint például a szivárgás okozta. A kis méretnek köszönhetően a nyomás alatt, a termelés megszakítása nélkül könnyen felszerelhető – ez egy további előny más elvekkel szemben.