圧縮空気用サーマルマスフローメータは、他の多くの気体の流量も測定できるフレキシブルな機器です。作動原理は熱伝導に基づいています。加熱されたセンサーは通過するガスに熱を奪われ、この冷却効果は質量流量に比例します。温度変化を監視することにより、メーターは実際のガス流量を決定します。

各ガスには独自の熱伝導率と分子特性があるため、最新の機器はソフトウェア・アルゴリズムを使ってこれらの要素を調整します。したがって、空気で校正されたセンサーは、正しいガス設定を適用することにより、窒素、酸素、二酸化炭素、またはその他の圧縮ガスに適応させることができます。

これにより、サーマルマスフローメータは、正確なマスフロー計測が必要とされる幅広いガスアプリケーションにおいて信頼性の高い選択肢となります。