熱質量流量原理は、加熱されたセンサーが移動する気体の熱損失を測定します。通過する気体の質量と流速に応じて、信号は標準流量に比例します。この原理は広い範囲で非常に信頼性が高い。特に、リークなどによる微小な空気流量の検出に適しています。小型のため、生産を中断することなく、加圧下で簡単に設置することが可能です。