열 질량 유량 원리는 가열된 센서가 움직이는 가스의 열 손실을 측정합니다. 통과하는 가스의 질량과 속도에 따라 신호는 표준 유량에 비례합니다. 이 원리는 넓은 범위에서 매우 안정적입니다. 특히 누출과 같은 작은 공기 흐름을 감지하는 데 적합합니다. 크기가 작기 때문에 생산 중단 없이 압력 하에서 쉽게 설치할 수 있다는 점도 다른 원리에 비해 장점입니다.