Termiczny przepływomierz masowy mierzy sprężone powietrze i gaz wykorzystując konwekcyjny transfer ciepła. Zawiera on podgrzewany czujnik i czujnik temperatury. Przepływający gaz chłodzi podgrzewany czujnik, a miernik oblicza przepływ masowy na podstawie ilości usuniętego ciepła.

Termiczne przepływomierze masowe oferują bezpośredni pomiar przepływu masowego, szybki czas reakcji, szeroki zakres pomiarowy, niski spadek ciśnienia i brak ruchomych części, dzięki czemu są niezawodne i łatwe w utrzymaniu.

Są one wrażliwe na zmiany składu gazu, nie nadają się do wilgotnego lub zanieczyszczonego powietrza i działają najlepiej z czystymi, suchymi gazami.

Ogólnie rzecz biorąc, zapewniają one dokładny i stabilny pomiar przepływu w wielu przemysłowych zastosowaniach związanych ze sprężonym powietrzem i gazem.