Termiczne przepływomierze masowe do sprężonego powietrza to elastyczne przyrządy, które mogą również mierzyć przepływ wielu innych gazów. Ich zasada działania opiera się na wymianie ciepła. Podgrzany czujnik traci ciepło na rzecz przepływającego gazu, a efekt chłodzenia jest proporcjonalny do przepływu masowego. Monitorując zmianę temperatury, miernik określa rzeczywisty przepływ gazu.

Ponieważ każdy gaz ma swoją własną przewodność cieplną i właściwości molekularne, nowoczesne przyrządy wykorzystują algorytmy oprogramowania do dostosowania tych czynników. Czujnik skalibrowany w powietrzu można zatem dostosować do azotu, tlenu, dwutlenku węgla lub innych sprężonych gazów, stosując odpowiednie ustawienia gazu.

Sprawia to, że przepływomierze masowe termiczne są niezawodnym wyborem dla szerokiego zakresu zastosowań gazowych, w których wymagany jest dokładny pomiar przepływu masowego.