Zasada termicznego przepływu masowego mierzy straty ciepła podgrzewanego czujnika poruszającego się gazu. W zależności od masy i prędkości przepływającego gazu, sygnał jest proporcjonalny do standardowego natężenia przepływu. Zasada ta jest bardzo niezawodna w szerokim zakresie. W szczególności do wykrywania małych przepływów powietrza, spowodowanych na przykład wyciekiem. Dzięki niewielkim rozmiarom możliwa jest łatwa instalacja pod ciśnieniem bez przerywania produkcji – kolejna zaleta w porównaniu z innymi zasadami.