O princípio do caudal mássico térmico mede a perda de calor de um sensor aquecido num gás em movimento. Dependendo da massa e da velocidade do gás que passa, o sinal é proporcional ao caudal padrão. Este princípio é muito fiável numa vasta gama. Especificamente para a deteção de pequenos fluxos de ar, como os causados, por exemplo, por fugas. Devido ao seu tamanho reduzido, é possível uma instalação fácil sob pressão sem interromper a produção – outra vantagem em relação a outros princípios.