Bir termal kütle akış ölçer, konvektif ısı transferini kullanarak basınçlı hava ve gazı ölçer. Isıtılmış bir sensör ve bir sıcaklık sensörü içerir. Gaz geçerken ısıtılmış sensörü soğutur ve sayaç ne kadar ısının uzaklaştırıldığına bağlı olarak kütle akışını hesaplar.

Termal kütlesel akış ölçerler doğrudan kütlesel akış ölçümü, hızlı tepki süresi, geniş aralık, düşük basınç düşüşü sunar ve hareketli parça içermez, bu da onları güvenilir ve az bakım gerektirir hale getirir.

Gaz bileşimindeki değişikliklere karşı hassastırlar, ıslak veya kirli hava için uygun değildirler ve en iyi temiz, kuru gazlarla çalışırlar.

Genel olarak, birçok endüstriyel basınçlı hava ve gaz uygulaması için doğru ve istikrarlı akış ölçümü sağlarlar.