Basınçlı hava için termal kütle akış ölçerler, diğer birçok gazın akışını da ölçebilen esnek cihazlardır. Çalışma prensipleri ısı transferine dayanır. Isıtılmış bir sensör geçen gaza ısı kaybeder ve bu soğutma etkisi kütle akışıyla orantılıdır. Sayaç, sıcaklık değişimini izleyerek gerçek gaz akışını belirler.

Her gazın kendine has termal iletkenliği ve moleküler özellikleri olduğundan, modern cihazlar bu faktörleri ayarlamak için yazılım algoritmaları kullanır. Bu nedenle, havada kalibre edilmiş bir sensör, doğru gaz ayarları uygulanarak nitrojen, oksijen, karbondioksit veya diğer sıkıştırılmış gazlara uyarlanabilir.

Bu, termal kütle akış ölçerleri, doğru kütle akış ölçümünün gerekli olduğu çok çeşitli gaz uygulamaları için güvenilir bir seçim haline getirir.