Termal kütle akış prensibi, ısıtılmış bir sensörün hareketli bir gazdaki ısı kaybını ölçer. İçinden geçen gazın kütlesine ve hızına bağlı olarak sinyal, standart akış hızıyla orantılıdır. Bu prensip geniş bir aralıkta çok güvenilirdir. Özellikle, örneğin sızıntıdan kaynaklanan küçük hava akışlarının tespiti için. Küçük boyutu sayesinde, üretimi kesintiye uğratmadan basınç altında kolay kurulum mümkündür – diğer prensiplere göre bir başka avantaj.